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半导体生产环境百级洁净室起重机
- 作者:kfcrane
- 发布时间:2023-03-13
- 点击:485
目前,落成的百级洁净室起重机已经投入到半导体生产环境的相关测试工作中。该洁净室按照半导体生产环境百级(Class5)洁净等级搭建,配合专用仪器,可以直接在生产基地完成半导体智能化生产过程中所使用的部件的相关搬运工作,极大地加速了产品的传送速度。通过采用不锈钢材质和防腐、防尘材料,加强起重机结构改造,这样才能够降低磨损和腐蚀,保障起重机在无尘车间生产中能够满足洁净度标准。
半导体器件的生产对生产环境要求很严,涉及数百个制造工序,对生产环境,如温度、湿度,洁净度都有严格要求。半导体器件,尤其是高密度的集成电路,易受到各种污染的损害。半导体器件对污染的敏感度取决于较小的特征图形的尺寸和晶片表面沉积层的薄度。空气中充满着尘埃,虽然细小到肉眼不可见,但这些尘埃对于每个晶体管的体积就属于较大颗粒,如若这些微粒黏附在制作半导体的晶圆上,可能会影响其精密的导线布局,破坏半导体器件的导电性能,造成电性短路或断路。因此要保证半导体生产的良品率,必须要保证其生产环境的洁净度。
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